您好,欢迎来到上海泛亚电竞环保科技股份有限公司!
全国咨询热线021-68682657
上海泛亚电竞环保科技股份有限公司

行业新闻

NEWS
泛亚电竞:高能离子注入机获重大突破电科装备
发布时间:2022-07-05浏览次数:181

  悉据,备自主研制的高能离子注入机中国电子科技集团旗下电科装,伏特高能离子加速成功实现百万电子,际先进水平性能达到国。

  了解据,出首台高能离子注入机电科装备将在年底前推,列离子注入机自主创新发展实现中国芯片制造领域全系,供离子注入机成套解决方案并将为全球芯片制造企业提。

  制造中的关键装备离子注入机是芯片。造过程中在芯片制,预定方式改变材料的电性能需要掺入不同种类的元素按,预定能量并注入至特定半导体材料中这些元素以带电离子的形式被加速至,掺杂工艺的芯片制造设备离子注入机即是执行这一。

  入机中技术难度最大的机型高能离子注入机是离子注。以来长久,和较高的行业竞争壁垒因其极大的研发难度,域的“珠穆朗玛峰”被称为离子注入机领,业链上亟待攻克的关键一环是我国集成电路制造装备产。

  领域具有较好的技术积淀电科装备在离子注入机,代半导体等离子注入机产品研发及产业化难题已连续突破中束流、大束流、特种应用及第三,球知名芯片制造企业产品广泛服务于全。

  电子科技集团公司(以下简称“中国电科”)的全资子公司中电科电子装备集团有限公司(简称“电科装备”)是中国,013 年成立于 2,所及其 11 家控股公司整合而成由中国电科二所、四十五所和四十八,、上海等六省市八园区地跨北京、太原、长沙。备及光伏装备的研发主要从事半导体装。机、MOCVD、多线切割机、光伏电站等主要产品包括:离子注入机、CMP 抛光。

  前目,造、服务于一体的离子注入机供应商电科装备是国内唯一一家集研发、制。家 02 专项后特别是在承担了国,注入机研发方面电科装备在离子,一个新台阶一年迈上。 02 专项的支持实际上如果没有国家,现在还是一片空白我国离子注入机到。

  4 年201,等级通过国家 02 专项实施管理办公室组织的验收电科装备的 12 英寸中束流离子注入机就以优秀。

  5 年201,nm 和 40nm 小批量产品工艺验证在中芯国际先后完成了 55nm、45,机率先实现了量产晶圆过百万片这一年国产首台中束流离子注入。

   年 11 月到 2017,芯国际实现了稳定流片 200 万片电科装备的中束流离子注入机已经在中,5 年还是刚刚突破百万片请注意这个数字在 201。

  么呢?2017 年第三季度这个 200 万片意味着什,为 44.8 万片中芯国际的实际产能。

   年的百万片从 2015,的 200 万片到 2017 年,成了 100 万片的生产量两年时间国产离子注入机完, 年第三季度的实际产能计算而按照中芯国际 2017,80 万片左右年产能为 1。

  以合理估计因此我们可,的离子注入机这块在七大类设备中,右已经基本实现了国产化当时中芯国际产线%左。

  意的是需要注,5nm、45nm 和 40nm中束流离子注入机只是适用于 5,应更先进制程要进一步适,流离子注入机还需要大束。

  6 年201,45—22nm 低能大束流离子注入机电科装备推出满足高端工艺的新机型 ,品已经批量应用于 IC 大线 年前面提到中束流、低能大束流系列产,中芯国际产线 年该离子注入机也在,条件厂房及工艺实验室投入使用电科装备的离子注入机批量制造, 标准的产业化平台具备符合 SEMI, 50 台年产能达,入机批量制造全程质量控制及追溯并应用信息化管理系统实现离子注。

  书记刘济东当时就强调电科装备董事长、党委,打破了高端市场被美日垄断的局面电科装备自主研发的离子注入机,入机国产品牌打造了离子注。

  外此, 抛光设备的主要供应商之一电科装备还是国产 CMP。年 8 月2017 ,知识产权的 200mm 化学机械抛光商用机电科装备就成功研发出了国内首台拥有完全自主。津厂 8 英寸大生产线 英寸 CMP 设备也成功研发完成并于 2017 年 11 月 21 日成功在中芯国际天。

  造两大关键设备以外除了集成电路晶圆制,集成电路封装设备制造商电科装备还是国内主力的, 2000 余台套其封装设备累计销售,方等国内知名封测企业——在高端封装设备领域已经批量应用于长电科技、通富微电、苏州晶,局部成套的供应能力电科装备已经形成。

  专项支持下在 02 ,薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化电科装备完成了封装产线mm 超。全自动精密划片机用于封装产线同时研发了倒装芯片键合机、,内处于领先地位技术水平在国。

  1日6月,主化及产业化建设项目主体结构正式封顶中国电科(北京)集成电路核心装备自。业化建设项目旨在打造国家集成电路装备创新平台中国电科(北京)集成电路核心装备自主化及产,进封装等高端装备研发与产业化加快离子注入机、CMP、先。1月今年,主化及产业化建设项目(一期)正式开工中国电科(北京)集成电路核心装备自。集团有限公司消息显示据当时中国电子科技,高端装备关键核心技术为加快突破集成电路,市“南强装备”的战略布局进一步落实中国电科在北京,术开发区的产业融合加强与北京经济技,总部一院一中心一基地”电科装备在北京布局“一,核心装备自主化及产业化建设项目启动了中国电科(北京)集成电路。

  日近,子信息制造业重点项目建设情况通报湖南发布了2021年一季度全省电。3月底截至,0个重点项目已全部开工湖南电子信息制造业3,100%开工率达;0.3亿元完成投资8,划的25.8%占年度投资计,中其,计算研发基地等9个项目完成年度投资计划30%以上时代电气汽车组件配套建设项目、深信服网络安全与云。晶材料生产基地等9个续建项目实现试生产蓝思科技视窗触控玻璃面板、经世新材液。外此,迎来重要节点多个项目也。第三代半导体、蓝思科技长沙消费电子基地和湘潭生产基地等项目进展顺利入选2021年湖南省十大产业项目和长株潭30大标志工程的湖南三安。半导体项目厂房土建已全部完成总投资160亿元的湖南三安,洁净与动力装修正在进行超净间,月底外延计划6厂

  线建设 验证工艺/

  网消息集微,方消息显示北京亦庄官,日近,”)自主研发的8英寸全自动晶圆减薄机产业化机型北京中电科电子装备有限公司(以下简称“电科装备,英寸集成电路生产线成功进入国内某8,自主可控道路上又迈出关键一步意味着国产集成电路封装设备在。介绍据,年三季度预计在今,寸全自动晶圆减薄机产业化机型电科装备还将推出首台12英,系列减薄设备国产化替代实现8-12英寸全自动。年底今,减薄抛光机也将交付客户电科装备12英寸全自动,领域“卡脖子”问题解决超薄晶圆加工。的国内集成电路领域减薄设备供应商电科装备是国家重大专项连续支持,体等应用领域国产装备占有率超过90%在集成电路晶圆、化合物、第三代半导,开发和产业化能力具备高效的整机。

  18日9月,博会)科技合作项目推介暨签约仪式在京举行第二十三届中国北京国际科技产业博览会(科。自全国多个省区市20个签约项目来,163亿元签约总额。体签约中此次集,高精尖产业项目较多以集成电路为代表的,也较大金额。、物联网、新材料等领域涉及集成电路。日当,委会共有6个项目签约北京经济技术开发区管,118亿元总签约额达。日报报道据北京,理委员会携手打造中电科集成电路核心装备产业园项目中电科电子装备集团有限公司与北京经济技术开发区管,术研究院、研发及产业化基地拟投资66亿元建设包括技,装备国产化水平提升集成电路。园项目将投资17亿元亦庄智通物联网产业,网芯片研发测试为基础以物联网传感器、物联,集群的特色产业园区打造智慧物联网产业。东京集

  登政府的阻扰即使面临拜,示出蓬勃发展的迹象中国半导体产业仍显,顿敲响警钟这在华盛。业协会数据显示国际半导体产,得的芯片制造设备订单激增58%2021年海外供应商从中国获,年成为第二大市场令中国连续第二。片短缺全球芯,手机等多种产品的供应扰乱了从汽车到智能。令审查漏洞去年拜登下,制造设备市场保持可观份额发现尽管美国在芯片设计和,度依赖”海外销售但相关行业“高,是中国尤其。一览无余:2021年这种窘境在最新数据中,公司获得的订单猛增44%全球芯片需求激增推动美日,单增幅远超其他地区其中来自中国的订。片制造商声称一些美国芯,场的价格以获得制造设备担心中企正支付高于市。涡中的美国商务部表示但处于这场激烈争论旋,力量在起作用除正常的市场,迄今

  社报道据路透,仪器、SK海力士警告称通用电气、3M、德州,进一步扰乱受损的供应链中国的疫情防控措施正,其收入影响。泛亚电竞道称报,政策导致许多城市再次封锁中国抗击奥密克戎的清零,厂关闭迫使工,供应链的僵局加剧了全球。蒙上了一层阴影这给金融市场,经济受到冲击市场担心全球。行导致的衰退中复苏全球经济刚刚从大流。到原材料从劳动力,应对不断飙升的成本各个公司都在争相,乌冲突而俄,的相关制裁以及西方,了能源价格已经推高。二的财报电话会议上表示:“总的来说通用电气首席执行官拉里·卡尔普在周,情对本季度收入产生了不利影响供应链问题、俄乌冲突和中国疫,个百分点影响约6。今年不会完全抵消通胀”卡尔普预计通用电气,表示他,仔细研究成本该公司正在,新的形以适应势

  储能系统的欧姆龙继电器 开关 连接器解决方有奖直播报名|节能减碳——用于光伏逆变器/案

  2性能稳超英伟达A100Habana Gaudi,高效AI训助力实现练

  出首款具有嵌入式 FPGA 的 DSP 芯CEVA 和FLEX LOGIX宣布成功推片

  1GHz主频的单片机吗?Teensy 4.1开发板介2022 Digi-Key KOL 系列: 你见过绍

  据处理消费电子工业电子汽车电子其他技术存储技术综合资讯论坛电子百嵌入式处理器嵌入式操作系统开发相关FPGA/DSP总线与接口数科

在线客服
联系电话
全国免费咨询热线 021-68682657
  • · 专业的设计咨询
  • · 精准的解决方案
  • · 灵活的价格调整
  • · 1对1贴心服务
在线留言
回到顶部